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採觸媒分解法，在500～800℃下將 PFCs通過含有金屬氧化物之觸媒反應管進行觸媒熱裂解，再以吸附去除危害性尾氣。

採用觸媒分解法工作溫度低 -- 省能源、低污染、 工安風險低，又可以加裝於現有尾氣處理系統中使用，故為目前及未來之趨勢。

優點:

• 去除效率高
• 工作溫度低、節省能源
• 維修組件少、壽命長
• 操作成本低暨工安風險極低等優點